◆性能特点：

光学金相显微镜和原子力显微镜一体化设计，功能强大。

同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能，两者可同时工作，互不影响。

同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能。

激光检测头和样品扫描台集成一体，结构非常稳定，抗干扰性强。

精密探针定位装置，激光光斑对准调节非常简便。

单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描。

马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品。

超高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位。

集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%。

◆测量范围及应用：

测量范围：二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

应用：纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。

◆ 应用案例 Application Case